素材 | 窒化ケイ素(プローブカード対応品) |
サイズ | 150mm ×150 mm |
厚み | 0.1 t~ 20 t |
厚み精度 | ±5μm |
平面度 | 20μm~50μm |
表面粗さ | Ra ≦0.3μm |
ボイド径 | ≦30μm |
分類 | 成形、スライス、研磨 |
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